展现102所的加工技术。
斯科蒂说:“张先生,伱们提供的技术指标是平面误差在50纳米以内,在这里,很容易就知道能不能达到这个技术指标。”
假设将这块石英平面放大到地球那么大,而这个误差相当于平面上一个乒乓球大小的凸起。
卡尔蔡司技术经理苏瑞·克鲁斯摇摇头,即便是卡尔蔡司也做到如此程度的精度,华国人要么在说谎,要么,他们已经找到最新的打磨技术……
苏瑞说的没错,离子束打磨技术在这个时候也才是刚起步,在精密打磨上面,确实可以将精度提升一个数量级,比起卡尔蔡司普遍使用的磁流体打磨,可控的精度更高……
镜片的检测要简单的很多,跟很多微结构需要电子显微镜来观测不一样,镜片的检测只需要一簇激光扫描整个平面,同过光的反射,可以将表面的瑕疵放大上万倍。
很快,助手肖莱玛拿着检测报告,一路说着上帝,难以置信,一边把报告递到斯科蒂手上。
“他们做到了……”
苏瑞看着报告,亦是摇摇头。
“华国在打磨镜片上面的技术超越了卡尔蔡司?”他摇摇头,很不明白。
“为什么华国的军方还向卡尔蔡司求购光学瞄准镜?”
而此时激光研究室高级技术员珍尼·欧嘉纳斯也走过来,向斯科蒂递交了关于华国氟化氪激光器的报告。
斯科蒂看了每一项数据,光阑,光束整形及光束诊断大小阈值,脉冲稳定等数据一流,但更让他觉得不以思议的是,华国的氟化氪激光机的功率可以达到36kw,而美国西盟科技提供的激光器功率只有18kw,这已经是欧美的最高水平了。
而日本人可以把激光器做到20kw。
芯片生产的商业化,效率优先,光刻过程中,激光的功率越高,曝光的效率越高,功率足够的话,一个激光脉冲就可以完成光刻过程,而功率不够,则需要两个,甚至三个激光脉冲。
虽然一个脉冲只有几微秒,而一块晶圆上有成千上万个芯片,累积起来时间就可观了。
斯科蒂很快觉察到,要是将华国的激光器用在ASML的光刻机上,ASML的光刻机将在与日本尼康、佳能的竞争中获得优势。
至于美国的西盟科技,只有被抛弃的命运了……
斯科蒂在第一时间打电话给ASML总裁维克多·雷泽诺夫先生。
斯科蒂说:“他们的数据很真实,华国在激光器和透镜上面,已经超越了我们,维克多总裁,我们需要华国的技术……”
“……”
维克多摇摇头,没有说话,一个很实现的问题,在惠生国际提出华国提供技术的时候,ASML的董事会已经讨论过了,因为246纳米光刻机在巴统对华禁售的目录里。
但除了惠生国际的代表,其余所有人都不认为华国的激光器与透镜能赶上欧美,事实上大家都是嘴上支持,到时候卖点PA3000,PA2000这些老掉牙的光刻机意思一下罢了。
他苦笑道:“如果华国提供了246纳米光刻机的关键技术,而他们却不能买ASML的246纳米光刻机,你说他们还会愿意提供这些技术吗?”
“……”
斯科蒂摇摇头说:“他们解决了激光器,解决了透镜,这离他们制造出246纳米光刻机还有多远?维克多先生,该跟那些老爷们说说,现在的形势变了……”
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